榮光的代價-2》半導體業不能說的秘密:那些連專家都沒聽過的毒物,如何影響健康和環境?

半導體製程繁複,每道製程都需使用到不同的化合物,但台灣半導體產業正在使用的化合物種類、成分,外界所知卻非常有限。圖為台積電十二廠。(顏麟宇攝)

提到半導體,多數人的印象就是它是高獲利的高科技產業。但高科技產業不一定代表無污染,更未必是低風險,將其歸類為完全無污染的「無煙囪工業」,更是不正確的誤導與迷思,不但可能造成政策上的誤判,也會鬆懈民眾的警覺心。

「半導體產業使用的化合物有夠多、有夠毒,這是無庸置疑的事實!所以半導體一直是勞動部加強列管的高風險事業單位。」勞動部職業安全衛生署副署長朱金龍斬釘截鐵地說。

半導體製程相當繁複,且每道製程都需使用到不同的化合物或化學組成,累積下來可能有數百種之多。更重要的是,業者用來清淨、蝕刻各項半成品的溶液或化學藥劑,對人體可能會有很高且不同的毒性與危害,所以一定要非常謹慎。

然而,從上游的化合物到下游的廢棄物,卻因受限法規盲點或制度設計不完備,使得第一線員工與廠區鄰近居民,籠罩在諸多風險之中。

【風險1】商業機密的風險:製程用毒性化合物,業者不揭露,政府查不到

要預防危害發生的第一步就是認識危害,但台灣半導體產業正在使用,乃至於可能隨時都在更換使用的化合物種類、成分,外界能夠知道的卻非常有限。

「攤開台灣半導體製程中使用到的化合物,哪怕是我這個礦冶工程學的博士,且近年幾乎將大部分研究重點都放在半導體廢棄物回收再利用的學者,也有很多連聽都沒聽過,更別提瞭解其危害性,以及應該如何防護了。」大葉大學工學院院長李清華表示。

然而,即使第一時間不瞭解,只要業者願意揭露,專家學者就有機會去研究,社會大眾因為無知而受害的機率也就能隨之降低。最怕的就是業者總以「商業機密」(know how)為由,秘而不宣其製程使用到的各種毒性化合物;這種情況在半導體產業相當普遍。

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長庚醫院臨床毒物科主任顏宗海表示,根據南韓學者2020年在國際期刊發表的研究,在全韓12家最具規模半導體產業中的11家,其製程使用到的化合物多達210種,用到的化學組成也有135種,但業者願意揭露的部分例如硫酸、鹽酸、異丙醇等,都是一些傳統工業製程也常在使用的化合物。而總體來說,南韓半導體業者拒絕向外界透露的化學物種類就佔了他們正在使用項目的29~33%之多。

南韓情況如此,台灣又是如何?

勞動部職業安全衛生署科長葉沛杰表示,根據《危害性化學品標示及通識規則》,事業單位若因製程需要使用具危害性的化學品,原則上都須完全揭露,若有任何理由不便揭露,也須向職業安全衛生署提出申請,由該署邀請專家學者進行審查,經審查通過才得免於揭露。

惟依該法第18條之1,若事業單位使用的化合物是屬於國家標準CNS15030分類中,被歸類於急毒性第1到3級、腐蝕或刺激皮膚物質第1級,甚至具生殖毒性、致癌性等,都是不得申請免於揭露的。違者將依法源《職業安全衛生法》處3~30萬元罰鍰,限期改善未改善者,得按次連續處罰。

話雖如此,葉沛杰坦承,國內法令還是有盲點的,但這也是目前舉世皆然的情況。

也就是說,假設國內有半導體業者基於商業利益不想揭露使用中的部分化合物,卻又明知其具急毒性或致癌性,就算申請免於揭露也不會通過,於是就選擇既不揭露也不申請,目的事業主管機關恐怕也很難透過稽查主動發現,更別提區區數萬元罰款,對很多半導體業者來說,只是九牛一毛。

半導體製程衍生最令人頭痛的含切削油的廢矽泥,內含極高的毒性。(黃天如攝)僅限台積電專題使用
半導體產業競爭相當激烈,業者十分保護自家製程技術,基於商業利益不願揭露使用中的部分化合物也很常見。圖為半導體製程衍生最令人頭痛的含切削油的廢矽泥,內含極高的毒性。(黃天如攝)

對此,李清華也深有感觸的說,半導體產業競爭相當激烈,業者十分保護自家製程技術;影響所及,就連他身為學者因為研究需要,不時會向半導體業者索取其不同製程衍生出來的各種廢棄物,也常遭到業者以各種理由婉拒。理由可能就是業者擔心有心人會透過廢棄物,回推其製程可能使用到的化合物,進而學走了他們的獨家技術。

不論什麼理由,半導體業者對正在使用的危害性化學物質諱莫如深,一旦防護失當造成相當規模的暴露,在殃及廠區鄰近居民之前,直接衝擊的可能就是公司內的員工,尤其是第一線作業人員。

一名台積電研發工程師透露,在效率與安全之間,個別員工有時為了想要早點下班,不免會減少幾道防護步驟,「不過台積電對環安衛生的管理很嚴格,員工被發現違反操作步驟都要寫報告,也會被主管罵。」然而第一線人員的輕忽,正是危害健康的溫床。

【風險2】漏網之魚的風險:政府怠忽調查,業者健康評估僅納少數危害物質

在半導體使用危害物質的非致癌風險部分,最受矚目的影響之一就是可能導致女性不孕、流產、畸胎的生殖發育毒性(reproductive and developmental toxicity)。過去勞動部勞動及職業安全衛生研究所以及現任真理大學工業管理與經營資訊學系副教授謝功毅的博士論文,都曾針對國內晶圓廠女性勞工長期暴露在二醇醚類(包括乙二醇及丙二醇)環境中,可能引發的月經功能異常、需更長時間才能受孕等影響作過研究,結果在統計學上均達顯著意義。可惜在學者有了初步發現之後,政府卻未持續追蹤調查,顯有怠忽之嫌。

晶圓廠只是龐大半導體產業鏈中小小的一環,在大廠聚集的各大科學園區,其使用具生殖發育毒性疑慮的毒性化合物還有很多。中科七星基地二階環評健康風險評估,曾針對某工廠煙道採取到的化學物質進行分析,其中具生殖發育毒性的就有苯乙烯、氯甲苯、4甲基-2-戊酮等13種。只不過評估後這些化合物檢驗值呈現的生殖毒性風險為千分之5.9,開發單位認為仍在可接受風險範圍內。

顏宗海表示,若純就風險值來看,他同意千分之5.9的風險算低,但這可能只是採檢當下呈現出來的風險值,不能保證工廠長期營運後,危害物質的排放量乃至於風險值永遠都會那麼低。所以,監測不是有做就好,還必須持續追蹤。

半導體使用物質的非致癌性,也不只有生殖發育毒性而已。顏宗海說,曾有一名LED面板廠工人因長期胸悶、呼吸不順等症狀到他的門診求診,診斷應是其工作的工廠製程需要大量使用到金屬物質銦,又可能當事人防護不當導致長期吸入,最終導致間質性肺病及肺纖維化;雖因發現算早沒有立即性的生命危險,但當事人已無法工作,只能提早辦理退休。而銦也是晶圓製程不可或缺的化學元素之一。

話說回來,員工健康是企業的重要資產,業者有更大的責任,情感上可能也不致於完全不顧。但圍牆之外的附近居民,以及一旦夾雜著各種有害物質的廢棄物被交到下游清除廠商手中後,若未能被妥善處理,甚至去到了不該去的地方,則其危害對象恐是無遠弗屆的。

但《新新聞》調查採訪發現,除了可能未完全揭露製程使用的危害物質,僅將少數危害物質納入開發前的環境影響健康風險評估,在半導體產業也是非常普遍的情況。尤其是台積電等具相當規模的半導體業者進駐的各大科學園區,其開發前經盤點會使用到的致癌性或非致癌性化學物質動輒都有上百項,但真正納入健康風險評估的比例卻可能不到3成。

20220304-竹科台積電專題,興建中台積電研發中心。(顏麟宇攝)
員工健康是企業的重要資產,但半導體業者在大興土木擴建的同時,卻往往只將比率甚低的危害物質納入健康風險評估。圖為竹科台積電。(顏麟宇攝)

以現正興建廠房中的新竹科學園區寶山二期擴建計畫為例,根據環評書,其擴建廠與既有廠使用危害物質共164項,但納入健康風險評估的卻只有37項,比例僅22.6%。

另如已營運中的台中科學園區后里七星基地,開發單位的環評健康風險評估更使用所謂的直接檢測法,只納入后里園區某既有廠煙道內曾檢出的21種被國際癌症研究署(IARC)列為2B以上的致癌物(包含Group1人類確定致癌物、2A人類極可能致癌物及2B人類可能致癌物),以及13種非致癌物質進行評估,餘者則以「依環保署《健康風險評估技術規範》,對於不具完整毒理資料者,可經說明後排除」為由省略。

【風險3】積少成多的風險:環評健康風險評估只做增量而未做總量管制

新竹科學園區污水排放至客雅溪,而客雅溪出海口為香山濕地,因此香山一帶生態一直是當地居民關注焦點。清華大學分析與環境科學研究所教授楊樹森長期監測發現,半導體重要材料鎵、銦在2007年調查時,兩者數值都在10(mg/Kg,以下數值單位相同)左右,但今(2022)年調查時,鎵數值已高達60至120之間,銦也增至20至60之間,超過美國地質學會公布的地球平均值(鎵是19,銦是0.1)。

楊樹森說,新竹地區早期有許多電鍍業,未良好處理的廢水含銅量高,污染了香山濕地及附近海岸,爆發了綠牡蠣事件。如今竹科幾乎是全球半導體最大產業聚落,製程中大量使用許多與傳統產業不同的化學物質,例如鋁、鎵、銦等,雖經科學園區污水處理廠處理過後都能符合現行排放標準,但長久下來總量仍然很大。

楊樹森進一步說明,金屬污染和別的污染不一樣,重金屬進入土壤後不能被分解,會變成地質的一部分,時間長了甚至會滲入地下水,又回到生態體系裡面。雖然沒有直接證據能證明哪些生物因此死亡,但就他觀察,即使近年政府宣稱城市污水治理有成,但西海岸生物多樣性仍每況愈下。

雖然竹科對放流水訂有《科學園區污水處理及下水道使用管理辦法》,針對60項化學物質設下排放標準量,也包含了鎵與銦,另環保署也訂有國家放流水標準,但半導體製程日新月異,材料多達上百項,甚至有些被列為商業機密,外界無從得知。楊樹森說,「這就會是一個大風險!」外界甚至不知道有什麽樣的化學物質被釋入生活環境中。

20220304-竹科台積電專題,竹科污水處理廠放流口,新竹市客雅溪。(顏麟宇攝)
新竹科學園區污水排放至客雅溪,而客雅溪出海口為香山濕地,學者監測當地生態發現,半導體重要材料鎵、銦的數值已超過美國地質學會公布的地球平均值。圖為客雅溪。(顏麟宇攝)

環保署《健康風險評估技術規範》也清楚寫著,在超過1000萬種的現存化學物質中,真正做過動物實驗且有具體數據者不超過2萬種,比例僅千分之2。換言之,現有環評只是就人類極為有限瞭解部分進行健康風險評估,加上都只做增量而未做總量管制,因此,即使作出來的結果是「增量致癌風險小於百萬分之一」、或是「增量非致癌風險HI(hazard index,危害指數)小於1」,也常難以令人信服。

環保署綜合計畫處長劉宗勇表示,健康風險成因相當複雜,而對開發單位來說,要他們將影響區域內既有污染源同時納入風險評估,資料取得確有困難。至於只將部分使用物質納入健康風險評估,也實因國內外現有毒物資料庫涵蓋化學物質有限。「但法規是與時俱進的,若未來國際上健康風險評估模式更新,環保署不排除作必要因應。」

科技部中科管理局副局長施文芳則說,各大科學園區環評健康風險評估不是不做總量,而是台灣的相關研究方法主要是師法美國,而美國學理上目前並沒有總量的風險評估方法,所以只能做增量。

但相當熟稔國內外環評規範的時代力量黨主席、不分區立委陳椒華對《新新聞》說,健康風險評估從來不缺方法,關鍵只在於開發單位做與不做而已,「因為總量健康風險評估做出來的結果會很嚇人!當然,一旦數據公諸於世,開發單位也別想開發了。」

陳椒華透露,事實上,已故前環保署長李應元在任時,她因憂心高雄臨海與林園工業區居民長期承受各種污染對健康的傷害,曾拜託環保署就當地10乘10公里影響範圍內,針對包含工廠、交通及大型開發案進行總量健康風險評估,結果致癌風險竟高達千分之一,也證明總量健康風險評估是可以做的。只不過該評估並不是為了某個開發計畫而做,所以即使最終風險數值爆表,也沒能影響或減少任何開發行為。

中科后里園區旁公館里里長馮詠淮質疑,環評只做增量不做總量健康風險評估,不要說小小的后里區除了原有的鋼鐵廠、紙廠、垃圾掩埋場(含焚化爐)3大污染源,近年又相繼遭到兩大科學園區(后里園區與七星基地)南北夾擊,「用這種方法評估,就算未來后里還要再進駐100個科學園區,我看環評也會照過不誤。」

陳椒華感嘆,現有環評健康風險評估及流行病學調查根本不算在做!因為每屆環評委員中,專長空污、水污的學者往往只有2、3位,專長健康風險評估的委員則經常只有1位,有時還沒有。而真正的健康風險評估必須做總量,不能只做增量;流病調查則應直接為當地居民抽血、驗尿,透過生理檢驗數據作為污染事實的佐證,且應在開發行為展開後,每隔3到5年再做一次,持續監測下去。

【風險4】查無實據的風險:誰是居民健康惡化禍首?臨床上難找到證據

「身為里長,我感覺近年里內罹患肺腺癌的里民似乎特別多,就連我自己3年半前也經醫師診斷罹患了肺腺癌!」、「雖說癌症形成原因複雜,但可以確定的是,我一輩子不菸不酒、不吃檳榔,甚至很少下廚,最常接觸的污染源就是與我家僅一牆之隔的中科后里園區。」馮詠淮苦笑著說。

馮詠淮表示,中科后里園區2014年設立前,標榜的就是科學園區招募的都是無煙囪、無污染的高科技產業;但如今的后里園區,以及與之隔著后里市區遙望的七星基地內,卻至少有上百支巨型煙囪豎立,而其對后里居民帶來的污染疑慮,更沒有一天停止過。

 20220225-台積電專題,圖為台中后里自來水廠的抽水站攔水壩,左為后里區里長馮詠淮。(蔡親傑攝)
中科后里園區對后里居民帶來的污染疑慮,沒有一天停止過。圖為后里區里長馮詠淮,其手指處為台中后里自來水廠的抽水站攔水壩。(蔡親傑攝)

業者超量排放污染物,不怕被罰嗎?

據經濟部統計,全台登記為半導體業的工廠共446間,大致分為積體電路、分離式元件與半導體封裝測試業。從環保團體綠色公民行動聯盟資料庫來看,半導體廠造成的環境污染囊括空污、水污、噪音、廢棄物與毒化物,其中又以半導體封裝測試業佔大宗。以曾多次違規遭裁罰的半導體封測大廠日月光為例,其2013年因超量排放含鎳、銅等重金屬物質的廢水至後勁溪,被高雄市環保局重罰逾1億元,經法院判決確定,仍要繳納近4700萬元罰鍰。而被開罰的日月光K7廠在2020年又因電鍍廢水處理污泥產出量與申報量不符,依《廢棄物清理法》被裁處6萬元。

除了日月光,不少知名半導體大廠也都有違規紀錄。例如台積電迄今共有8筆違規記錄,涉及空污、水污與廢棄物處理等類型,污染遍佈竹科、中科與南科,但罰款金額累計僅45萬4200元,其中金額最高的也只有10萬元;最近一次是因研發中心的污水處理工程與核備計畫不符遭民眾檢舉,遭罰2萬7000元。

縱看半導體業者的違規記錄與裁罰金額,至今開罰金額累計達千萬元以上的僅有日月光,百萬等級的只有台灣半導體、台積電、艾克爾、矽品、南茂、匯華電子及沛晶科技;但每次裁罰金額幾乎都不超過百萬元,對於業者都僅九牛一毛,每家公司都能迅速無期繳清。

翻開國內各大科學園區的流行病學調查,當地居民健康問題確實令人憂心。根據南科台南園區三期基地開發計畫(環評尚在審查中),影響區域台南新市、安定、善化及永康等4區,其2001~2017年癌症發生率、兩性的全癌症發生率皆明顯高於台南其他地區與全台,且有逐漸上升的趨勢。另如竹科寶山擴建計畫影響區域新竹縣寶山鄉、竹東鎮及新竹市東區,2001~2015年間的胰臟癌與女性乳癌發生率亦高於全台。中科后里七星園區影響區域后里居民的肝癌發生率亦遠高於全台平均。

接受中科委託進行后里與七星基地健康風險評估與流病調查的中國醫藥大學公衛學院副院長許惠悰表示,在中科進駐之前(1990~2013年),后里區居民的肝癌發生率就明顯高於全國平均,但他認為這與當地既有環境污染源關係不大,應是當地民眾B、C肝盛行率原本就比較高的原因。

由於健康風險評估是針對未來開發行為的危害物質暴露作健康風險推估,加上疾病尤其是癌症發生成因複雜,因此嚴格說來,即使透過回溯性流行病學調查得知當地居民各項癌症死亡率與癌症發生率偏高,也不能算在開發單位頭上。但若開發屬於擴廠計畫,例如竹科寶山二期及南科台南園區三期;又例如中科七星基地開發前,后里園區已在2公里外營運了兩年,則開發單位可能多少都要為居民的健康惡化負起一定比例的責任。

退一步想,就算居民既有健康問題不是開發單位造成的,但若當地環境污染指標性癌症(例如肺癌、肝癌等)甚至全癌症發生率都已顯著高於全國平均,政府卻仍以國家政策放行大型開發案持續進駐,情感上也很難被居民與輿論接受。

結論就是,基於大環境中污染來源相當複雜,又危害物質進入人體後,雖有可能造成各種急、慢性傷害甚至衍生癌症,但最終還是會被代謝掉;所以,要在臨床上找到特定污染源造成居民重大健康危害鐵證如山的實據,並不是那麼容易。而多數居民最卑微的要求也不過是: 重要污染源尤其是大型開發案不要總在我家隔壁!

相同危害物質排放量加總,濃度恐破表

然而,科學園區或說半導體產業使用的許多化學物質都有致癌性,是非常確定的。根據中科七星基地二階環評健康風險評估,七星園區某廠煙道與放流水排放物質中,屬於人類確定致癌物(Group 1)者就有六價鉻、苯、砷、1,2-二氯丙烷及戴奧辛等5種;而其可能導致的腫瘤類型就包括了肝癌,其他可能誘發的癌症還包括肺癌、軟組織肉瘤、胃癌等。

另南科台南園區三期健康風險評估也指出,該擴廠計畫未來進駐廠商以半導體為大宗,而其參考既有半導體廠管道排放及放流水危害物質,共計篩選出25種致癌物、53種非致癌物納入評估。在致癌物部分,其中有多達11種可能誘發肝癌、6種可能引發肺癌。

20220509護國群山/台積電專題_02-污染危害篇-南科台南園區三期推估排放致癌物質風險資料
 

另開發單位推估其營運後1年內的污染排放量,在致癌物質方面排放量前5大依序為二氯甲烷2.053公噸、四氫呋喃0.448公噸、1,4-二氧陸圜0.139公噸、四氯乙烯0.089公噸、苯乙烯0.051公噸;非致癌物質前5大則為鹽酸16公噸、丙酮9.208公噸、氨氣9公噸、異丙醇8.444公噸、氫氟酸7公噸。

致癌物質排放量單位以「公噸」計,未免太驚人!顏宗海表示,針對危害物質排放,目前國內外法規訂的都是濃度標準,但從上述開發單位提供的全年累計排放量中,並無法看出排放濃度。但可以確定的是,開發單位納入評估的至少都是被國際癌症研究署列為2B以上的人類可能致癌物;排放量前5大化學物質中還有3個屬於2A人類極可能致癌物。而致癌性多屬日積月累的慢性暴露,加上科學園區屬固定污染源,居民若只有1、2年的暴露或許還看不出影響,但隨著時間拉長,致癌風險就有可能提高。

20220509護國群山/台積電專題_02-污染危害篇-南科台南園區三期基地致癌物質推估排放量前五名
 

在非致癌物質方面,其平均全年累計排放量更是致癌物質的數倍。顏宗海說,相較於開發單位納入評估的致癌物質可能為半導體製程特有,排放量居前段的非致癌物質如鹽酸、丙酮、氨氣等則是一般傳統產業也常在使用的物質。換言之,除了未來擴建的廠區,科學園區既有廠乃至於園區附近的小工廠,可能已在排放相同危害物質,而不同污染源的排放量一旦加總,濃度就有可能破表,對居民造成的急毒性,乃至於生殖發育、器官損傷等各種非致癌性風險,也有可能攀升。

20220509護國群山/台積電專題_02-污染危害篇-南科台南園區三期基地非致癌物質推估排放量前五名
 

環評健康風險評估除了針對影響區域內一般民眾的致癌風險與非致癌風險進行評估,也會針對孕婦、兒童(0~12歲)等敏感族群進行健康風險評估。但《新新聞》調查發現,姑且不論這些針對婦孺脆弱族群所做的健康風險評估能否做到更嚴格,許多環評內容甚至可見相關章節草草帶過,大有虛應故事之嫌。

以竹科寶山用地擴建計劃的健康風險評估為例,無論孕婦或幼童,都只納入非致癌風險,省略了致癌風險評估。

為什麼不做呢?在幼童部分,開發單位提出的理由是,兒童癌症種類主要包括血癌(白血症)、腦瘤、淋巴腫瘤、神經母細胞瘤等,而該開發計畫評估物質之致癌標的器官並不包括前述兒童癌症,故不予評估。至於孕婦未做致癌風險評估的理由,則隻字未提。

【風險5】循環經濟的風險:「再利用」紙上談兵,受限技術垃圾並未變黃金

論及半導體產業廢棄物處理的問題,近年在政府環保政策定調下,「循環經濟」(或稱「從搖籃到搖籃」,Cradle to Cradle;C2C)儼然已成為國內廢棄物處理的關鍵詞。

環保署廢棄物管理處副處長許智倫表示,2020年全國事業廢棄物產出總量為2003萬0414公噸,其中半導體廢棄物約170萬公噸,且近年年增率都在6%左右;至於半導體廢棄物再利用率則為62%,較整體事業廢棄物再利用率約86%低了不少。然而前述數據只是業界平均,根據國內半導體龍頭台積電在其企業社會責任報告書中的揭示,該公司近年廢棄物再利用率均達95%,成績傲人。

20220509護國群山/台積電專題_02-污染危害篇-台積電每年廢棄物量
 

然而無論是6成、8成抑或9成,這些對外發表的再利用數據,真的代表逐年增加的半導體廢棄物全都垃圾變黃金了嗎?

「內含金、銀、銦、鎵、鉑、銠等貴金屬的高價值廢棄物的去化管道當然是非常暢通的,因為利之所趨,回收廠商甚至還要反過來花錢向半導體業者買廢棄物回去處理。但相對低價值的例如塑膠、玻璃,乃至於集塵灰、污泥、研磨廢液等廢棄物,去化問題還是非常大。」李清華一語道破。

李清華近年投入從半導體廢棄物中剝下各種可供再利用金屬的技術,並提到貴金屬的去化管道自然很暢通,但一般金屬還是大有問題。(黃天如攝)僅限台積電專題使用
李清華近年投入從半導體廢棄物中剝下各種可供再利用金屬的技術,並提到貴金屬的去化管道自然很暢通,但一般金屬還是大有問題。(黃天如攝)

清華大學工程與系統工程系教授葉宗洸更直接點名晶圓製程蝕刻產生的大量廢液說,這些毒性複雜的廢液不會自己消失,「核廢料會衰變,半導體廢液不會!」所以這些廢液在沈澱、固化前,一定要妥善集中、儲存、隔離,才不致外洩污染土壤。

前環保署副署長詹順貴則透露,正因過去就連大廠台積電亦曾爆發污泥濫倒事件,所以台積電對廢棄物處理要求非常嚴格,曾主動向環保署要求修訂《廢棄物清理法》第30條「事業委託清理其廢棄物,應與受託人就該廢棄物負連帶清理責任。」,如此台積電才有權管理下游廢棄物廠商。

但一名不願具名的半導體廢棄物再利用業者向《新新聞》爆料指出:「嘴巴說的跟做的有時是兩回事!我敢說,國內現有近3000家再利用廠商有真正做到廢棄物循環再利用的恐怕少之有少,很多都只是把收到的廢棄物轉手賣掉罷了。」

半導體再利用業者弘馳董事長蘇丁財表示,半導體廢棄物以夾雜各種複雜化學成分的污泥與廢液為大宗,部分再利用業者為了取得執照,在接受資格審查時話都說的很好聽,但其實業者的技術、設備卻可能很有限。加上半導體業者發包廢棄物處理均為價低者得標,委託處理費常被砍到見骨,部分再利用業者即使得標,但最後礙於處理成本昂貴,去化根本無利可圖,有的就乾脆將收到的廢棄物簡單固化、粉碎後,包藏在一般廢棄物內出口賣掉,根本沒有再利用的事實。

曾多次參與廢棄物再利用廠商資格審查的李清華也坦承,業者資格審查會議往往只有半天,審查委員在有限時間內也只能就業者的處理技術與設備進行書面和現場審查。但究竟業者取得資格後,是否真如承諾確實將各種廢棄物依步驟進行處理、去化、再利用?恐怕沒人敢拍胸脯保證。

舉例說,再利用廠商可能會表示,他們有能力將半導體廢棄物中含有的塑膠成份萃取出來製成塑膠粒,再將這些塑膠粒賣給傢俱業者做成塑膠椅、塑膠盒。問題是消費市場可能根本不需要這麼多的塑膠生活用品;也或許傢俱業者覺得直接向塑化廠購買塑膠粒比較划算,所以並不見得會向再利用廠商採購原料。

許智倫表示,依《廢棄物清理法》規定,廢棄物再利用機構審查權依廢棄物處理技術難易分屬地方環保局與各目的事業主管機關,舉例說,半導體製程衍生的廢溶劑成分複雜,處理技術相對困難,承包工業區廢溶劑再利用廠商就須通過經濟部工業局的資格審查,科學園區承包商審查權則隸屬科技部…,而目前總計有10多個部會都訂有廢棄物再利用管理辦法。

針對部分再利用業者可能徒有其名,卻沒有再利用的事實,許智倫強調,有些情況可能是廢棄物處理方式界限不明,例如許多再利用業者同時擁有處理機構資格;而將廢棄物適當處理後作為輔助燃料是再利用,但焚化或熱處理是否為再利用,就有糢糊空間。無論如何,環保署將從檢討自身管理辦法做起,再加強與各部會的橫向連繫,持續強化再利用產品品質及流向稽查等工作。

話雖如此,廢棄物再利用過程中衍生的二次污染,仍是一大問題。獲頒2021年綠色化學應用與創新獎的優勝奈米科技總經理許景翔表示,真正的綠色製程必須同時符合安全、低碳、環保3大標準,且絕對不能使內部成本外部化。舉例說,若再利用業者在處理廢棄物的過程中,不惜使用劇毒化學品,甚至沒有妥善處理就排放,為了企業營利不惜讓員工安全與環境付出沉痛代價,這就是內部成本外部化的典型樣態。

事實真相是,循環再利用從來不是解決廢棄物問題的萬靈丹,因為廢棄物再利用處理過程中又會再衍生各種廢水、廢氣、固體等廢棄物,即看似解決了一個問題,實則又衍生出新的問題。而以傳統的剝金術為例,若民眾知道至今仍有業者為了回收半導體中的黃金,大量使用高腐蝕性的王水或具有劇毒性的氰化物時,還會對所謂的再利用製程抱持不切實際的完美想像嗎?!

垃圾掩埋場近飽和,廢棄物最終處理能力難應付產業發展

更甚者,國內焚化爐尤其是最終處置的掩埋場數量相當有限,願意接受事業廢棄物的更是屈指可數,廢棄物最終處置收費也越來越高。環保署統計,截至2020年,國內106家垃圾掩埋場總掩埋量3668萬立方公尺,剩餘可掩埋量391萬立方公尺,比例僅10.7%;換言之,許多掩埋場早已宣布飽和關閉。影響所及,過去即曾發生數起領有證照的合法清除業者,最後竟將自半導體大廠收取到內含有害物質的污泥、廢渣,任意棄置在荒山野嶺的情況。

這些違法亂紀的廢棄物清除業者自然千不該萬不該,但這也突顯了不用等到將來,現在台灣的廢棄物最終處理能力與容量,就已無法應付半導體產業的快速發展。

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